油擴散噴射真空泵是利用高壓、高速和定向流動的油蒸氣射流抽氣的真空泵。這種泵的極限壓力約10-2帕，工作壓力范圍一般為1.0～10-1帕，抽氣速率范圍為幾百到幾萬升每秒，最大反壓力為幾百帕，是獲得中真空的主要設備之一。

油擴散噴射真空泵又稱油增壓泵，其工作壓力范圍為10～10-2Pa。這個壓力范圍正好是高真空油擴散泵和油封式機械泵抽氣能力下降的中間地帶，油封式機械泵的抽速隨壓力降低而明顯地減小，在10-1 Pa時實際抽速幾乎為零；而大多數油擴散泵在此壓力范圍內抽速也很小。

在1～10-1 Pa工作壓力范圍內，油增壓泵恰好具有較大的抽速。因此，油增壓泵除用做主泵外，常用到大型油擴散泵的出口處，來增加其出口壓力，使前級機械泵能有效地工作，故稱其為油增壓泵。

油擴散噴射真空泵與油增壓泵相比，相同口徑的泵，其加熱功率高2～5倍，抽氣量高4～20倍，泵的功能不同，泵油性能不同，但其抽氣機理基本相同。